本文目录一览：
- 1、请问Metal-Oganic Source是什么意思啊 ？LDE制程中用到的。
- 2、烷基铝原子沉积法制备al2o3的反应是怎么发生的
- 3、烷基铝稀释冒烟
- 4、1.为什么对于烷基铝或者氢化铝来讲,容易形成氢化铝锂?
- 5、烷基铝的着火应该怎么救
- 6、三乙基铝保存在矿物油中吗
请问Metal-Oganic Source是什么意思啊 ？LDE制程中用到的。
金属有机气相沉积原料，能提供连续不断的源料。主要指TMGA、TMIN、TEGA等，其性质如下：
MO Source特性
三甲基镓Ga(CH3)3
1.英文名： Trimethylgallium，常简写为TMG或TMGa
2.用途：外延成长、化学气相淀积、金属的有机合成。
3.制法：2GaCl3+6MgCH3I→2Ga(CH3)3+3Mgl2+3MgCl2
4.理化性质：
分子量： 114.825
熔点(101.325kPa)： -15.8℃
沸点(191.325kPa)： 55.8℃
液体密度(15℃，100kPa)： 1151 kg/m
气体密度： 4.0 kg/m。
蒸气压(-10℃)： 5.1kPa
(10℃)： 14.7kPa
(30℃)： 37.0kPa
三甲基镓在常温常压下为无色透明有毒液体。在空气中易氧化，在室温自燃，燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。它在已烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶。与水激烈反应生成Me2GaOH和[(Me2Ga)2O]X，并放出甲烷气。与AsH3、PH3、乙醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类产生激烈反应。用烃类溶剂烯释到25%以下的三甲基镓，失去其自燃性。
5.毒性
三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。三甲基镓的燃烧产物氧化物白烟，能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜，损伤支气管、肺和肾，严重时可引起肺水肿。
6.安全防护
贮液钢瓶内的液面要用N2、Ar等惰性气体保护。容器及用气设备装置必须事先烘干，抽真空，用惰性气体清洗，赶出空气和水分。经探漏，在确保密封的情况下使用。
三甲基镓无腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等金属材料，不能用铅、镁、锡、锌和铝。可以用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、含碳石棉。尼龙、聚丙烯、氟化橡胶也可短时间使用。不能用硅橡胶、天然橡胶、氯丁橡胶、丁腈橡胶和纤维素、羊毛等纤维类。
三甲基镓着火时，灭火比较困难。一般是用干粉、干砂、二氧化碳和砾石来控制火势，防止火灾蔓延到别处，直至其完全燃烧掉。绝不可用水、泡沫和卤代烃灭火剂。
当三甲基镓泄漏时，首先要切断所有火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂洗刷，或用干燥砂土吸收后拿到空旷地方掩埋。污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。
三甲基铝
1、英文名：Aluminium trimethyt，Trinethyluminium.
分子式：[(CH3)3Al]2
性质：无色液体，熔点15℃。
沸点126℃。闪点-18℃。密度0.752g/cm3。
2、用途：
石油烃聚合的催化剂、火箭燃烯料、化学气相淀积、外延成长、有机合成。
3、理化性质：
分子量： 72.086
熔点(101.325kPa)： 15.28℃
沸点(101.325kPa)： 127.12℃
液体密度(20℃，100kPa)： 752kg/m
熔化热(15.28℃，101.325kPa)： 122.05 kJ/kg
气化热(127.12℃，101.325kPa)： 581.38kJ/kg
比热容(25℃，101.325kPa)： 2160.389 J/(kg•℃)
蒸气压(10℃)： 0.588kPa
(20℃)： 1.120Kpa
(60℃)： 9.133kPa
着火点： 室温
毒性级别： 3
易燃性级别： 3
易爆性级别： 3
三甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃，瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应。与水反应激烈，既使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。在300℃时缓慢分解产生甲烷。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。能与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去其自燃性。
三甲基铝与一些物质混合接触时的危险性如下表所示：
混合接触危
险物质名称 化学式 危险等级 摘要
氯酸钠 NaClO3 A
高氯酸钠 NaClO4 A
过氧化氧 H2O2 A
过氧化钠 Na2O2 B
硝酸铵 NH4NO3 A
硝酸钠 NaNO3 A
高锰酸钾 KMnO4 A
氯苯 C6H5Cl B 有激烈反应的危险
硝酸 HNO3 A
硫酸 H2SO4 A
三氧化铬 CrO3 A
亚氯酸钠 NaClO2 A
溴酸钠 NaBrO3 A
重铬酸钾 K2Cr2O7 B
四氯化碳 CCl4 B 有爆炸的危险性
4、生产方法：
①碘甲烷和金属铝反应。
②二甲基银和铝作用。
③参见三异丁基铝。
烷基铝都是无色液体，商品以20%烃类溶液供应。贮运时可用己烷、庚烷、苯、甲苯等烃类作为溶剂。空气中自燃。遇水、氧化剂、卤代烃、醇或其它含氧有机物都能起猛烈反应。加热至177～232℃时自行分解并放出相应的如乙烯、丙烯、丁烯等易燃性不饱和烃类气体。铝的有机化合物全部操作要在惰性气体(N2、Ar)中进行。20%的烃类溶液无自燃性，但在空气中仍发烟。这种溶液的闪点为所用溶剂的闪点。溢出溶液与空气作用放出的反应热能使溶剂挥发，增加其着火危险。
5、毒性特征：
最高容许浓度：0.5 mg/m
三甲基铝接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。因为三甲基铝太活泼，它不可能以其原形直接吸人体内。它在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾。这种烟雾能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜。人吸入后气管和肺受损伤，严重时能引起肺水肿。
遇到吸入氧化铝烟雾的患者，应立即转移至无污染区，安置休息并保持温暖和舒适，并速请医诊治。眼睛和皮肤接触后，立即用大量水充分冲洗后就医。进入口内时立即漱口并急送医院抢救。
铝的有机化合物，其毒性决定于它的分解产物。急性中毒时出现对眼和上呼吸道的刺激作用、抑制神经系统(无麻醉作用)、降低耗氧量、大脑和内脏充血、肺气肿，严重染毒能引起死亡。烷基铝对人的不幸事件大多与火灾和烧伤有关。死亡病例发生在中毒后36～72小时。参见四乙基铅的毒性。
6、安全防护：
工作时必须穿戴氯乙烯或氯丁橡胶防护服，皮或者尼龙的手套，高腰胶靴，护目镜，防毒(酸性气体用)口罩等。工作场所要通风，保持环境空气新鲜干燥。用钢瓶盛装，液面要用N2、Ar等惰性气体保护。在保护气中的含水及含氧量均应小于20PPm。钢瓶要存放在室外阴凉干燥之处，或易燃液体专用库内，要远离火种、热源、可燃物及能与三甲基铝反应的物质。电气设备必须有防火花装置。库温要低于30℃，相对湿度在75%以下。
有机金属化合物一般没有腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等通用金属材料，但是不能用铅、镁、锡、锌和铝。可用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯或碳的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。
三甲基铝等烷基铝一接触空气就着火，而且还没有有效的灭火方法，所以灭火是比较困难的。着火时，一般的对策是先切断所有火源，隔绝其它可燃物，用干粉、干砂、二氧化碳、砾石等来控制火势，使火灾不蔓延到别处。绝不能使用泡沫及四氯化碳等卤代烃灭火剂。
当三甲基铝泄漏时，首先要切断所有的火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂刷洗。如果没有分散剂，可用干燥砂土吸收后拿到空旷处掩埋，或者用苏打粉混合泄漏液后放在空旷处的大钢盘上，上面用废木料或纸盖住，并在严格监督下烧掉。受污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。
有机铝化合物可用煤油、汽油及其它碳氢化合物慢慢地洗涤。对于弱的有机铝溶液，只用水洗。但是在碳氢化合物溶液中使用有机铝化合物时，要防止有机铝化合物着火
三乙基镓Ga(C2H5)3
1.名•英文名 ：Triethylgallium．
2.用途
有机合成、化学气相淀积、处延成长。
3.制法：
4.理化性质
分子量： 156.906
熔点(101.325kPa)： -82.3℃
沸点(101.325KPa)： 142.6℃
液体密度(30℃,100kPa)： 1058kg/m
气体密度： 5.4kg/m
蒸气压(30℃)： 1.25kPa
(70℃)： 8.3kpa
(90℃)： 18.5kPa
三乙基镓在常温常压下为无色透明液体；空气中自燃。与水激烈反应放出乙烷气。在乙烷、庚烷等脂肪族饱和碳氢化合物，甲苯、二甲苯等的芳香族碳氢化合物中，以任意比例相溶解。同AsH3、PH3、醇类、叔胺及路易士碱生成稳定的络合物。与含有活性氢的醇类、酸类产生激烈反应。在室温下，在N2、Ar等惰性气体中保存时稳定。
二茂镁
1、英文名称： magnesocene；di (cyclopentadienyl) magnesium
2、分子式：Mg(C5H5)2 又称双(异戊二烯基)镁。
白色晶体。熔点176℃。在100℃时升华。对空气、潮湿、二氧化碳和二硫化碳均很敏感，固态晶体曝置在空气中着火。溶于乙醚、四氢呋喃、苯、二甲苯。棕褐色。强烈水解。与某金属的氯化物反应，可脱去氯化镁而得二茂金属。在二茂镁分子中，化学键属共价键还是金属离子键，目前尚有争论。二茂镁是向过渡金属引入环戊二烯基的一种很有用的试剂。
3、制法：
溴化乙基镁与苯和乙醚反应可脱去乙烷而得溴化茂基镁(C5H5MgBr)，二个分子的后者于220℃及10-2Pa下可缩去一分子溴化镁而得二茂镁。又金属镁与异戊二烯在500℃反应亦可脱H2而得二茂镁。
三甲基铟In(CH3)3
1.别名•英文名 Trimethylindium．
2.用途 外延成长、有机合成、化学气相淀积。
3.制法
4.理化性质•毒性•安全防护
分子量： 159.9
熔点： 89℃
沸点： 135.8℃
液体密度(10℃)： 1568kg/m3
蒸气压(30℃)：0.960kPa (70℃)： 9.60kPa
三甲基铟在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶。遇冷水部分水解放出甲烷气体。它与己烷、庚烷等脂肪族饱和烃，甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例相溶。空气中自燃。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类进行激烈反应。与甲基醚、三甲基磷烷、三甲基砷烷等作用形成配位化合物，但是其稳定性比镓差。光照易引起三甲基铟的分解，长期保存时需要存放在阴凉干燥之处。
最高容许浓度：0.1 mg/m3(以In计)
烷基铝原子沉积法制备al2o3的反应是怎么发生的
化学过程。
从原理上说，ALD是通过化学反应得到生成物，但在沉积反应原理、沉积反应条件的要求和沉积层的质量上都与传统的CVD不同，在传统CVD工艺过程中，化学蒸汽不断通入真空室内，因此该沉积过程是连续的，沉积薄膜的厚度和温度、压力、气体流量以及流动的均匀性、时间等多种因素有关；
在ALD工艺过程中，则是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中，因此并非一个连续的工艺过程。
相对于传统的沉积工艺而言，ALD在膜层的均匀性、阶梯覆盖率以及厚度控制等方面都具有明显的优势。
原子层沉积（Atomic
layer deposition）是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。
原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。
原子层沉积
但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。
单原子层沉积（atomic layer
deposition，ALD），又称原子层沉积或原子层外延（atomic layer epitaxy）
，最初是由芬兰科学家提出并用于多晶荧光材料ZnS:Mn以及非晶Al2O3绝缘膜的研制，这些材料是用于平板显示器。
由于这一工艺涉及复杂的表面化学过程和低的沉积速度，直至上世纪80年代中后期该技术并没有取得实质性的突破。
但是到了20世纪90年代中期，人们对这一技术的兴趣在不断加强，这主要是由于微电子和深亚微米芯片技术的发展要求器件和材料的尺寸不断降低，而器件中的高宽比不断增加，这样所使用材料的厚度降低值几个纳米数量级
[5-6]。
因此原子层沉积技术的优势就体现出来，如单原子层逐次沉积，沉积层极均匀的厚度和优异的一致性等就体现出来，而沉积速度慢的问题就不重要了。
以下主要讨论原子层沉积原理和化学，原子层沉积与其他相关技术的比较，原子层沉积设备，原子层沉积的应用和原子层沉积技术的发展。
烷基铝稀释冒烟
烷基铝稀释会冒烟。由于烷基铝接触空气会自燃，遇水会爆炸，因此在稀释的过程中会冒烟。
1.为什么对于烷基铝或者氢化铝来讲,容易形成氢化铝锂?
烷基铝化合价低，铝是3价的，有空轨道，负氢是负一价，有一对电子，铝和负氢非常容易结合在一起形成四氢化铝负离子。这也是经典人名反应Schlesinger反应的基础，就是制备氢化铝锂的反应。烷基铝化合价低更容易形成氢化铝锂。
烷基铝的着火应该怎么救
烷基铝灭火方法： 使用干粉、二氧化碳灭火剂,勿用水、泡沫或卤素灭火剂 .
“雨神”牌烷基铝类火灾灭火剂是一种无毒、无害,对人体皮肤无刺激,对保护物无腐蚀；在常态下不分解、不吸湿、不结块,具有良好的流动性、抗复燃性、弥散性和电绝缘性的新型灭火剂,其灭火机理是以化学灭火为主,通过化学、物理双重灭火机能扑灭火焰,在三乙基铝储罐或输送管道发生火情时,由自动灭火装置释放出的云雾状超细干粉灭火剂粉末通过与燃烧物火焰接触,产生化学反应迅速夺取燃烧自由基与热量,从而切断燃烧链实现对火焰的扑灭,灭火剂与火焰反应产生的大量玻离状物质吸附着在三乙基铝表面形成一层隔离层,从而从物理上实现了被保护物与空气的隔绝,阻断再次燃烧所需的氧气,以物理方式防止复燃；当灭火剂喷射到火场使火熄灭后,此时应迅速切断给三乙基铝储罐加压的氮气,使三乙基铝储罐成为无压状态,防止超细干粉覆盖层被气压冲破而再度复燃.
三乙基铝保存在矿物油中吗
三乙基铝保存在矿物油中。日常管理不严格，矿物油桶使用后，未拧上桶盖，露天存放，致使雨水进入油桶中。用矿物油冲洗与备用三乙基铝钢瓶连接的管线时，矿物油中的少量水分残留于管线中，当投用备用钢瓶时，三乙基铝与少量水分反应产生氧化固体物而堵塞管线。这违反在潮湿和雨天情况下，严禁三乙基铝系统现场作业的规定。管内存有水分与三乙基铝发生剧烈放热反应，管内压力骤升，金属软管爆裂导致三乙基铝泄漏着火，遇水爆炸；临时跨接线软管耐压达不到要求，管线超压而爆裂。所以，三乙基铝保存在矿物油中。
